Electron irradiation induced amorphous SiO2 formation at metal oxide/Si interface at room temperature; electron beam writing on interfaces
Electron irradiation induced amorphous SiO2 formation at metal oxide/Si interface at room temperature; electron beam writing on interfaces
Fájlok
Dátum
2018
Szerzők
Gurbán, Sándor
Petrik, P.
Serényi, Miklós
Sulyok, Attila
Menyhárd, Miklós
Baradács, Eszter
Parditka, Bence
Cserháti, Csaba
Langer, Gábor Antal
Erdélyi, Zoltán
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Forrás
Scientific Reports. -8 : 1 (2018), p. 1-7. -Sci. Rep. - 2045-2322