Cserháti, CsabaHuszánk, RóbertNémeth, Levente2017-05-192017-05-192017-05-19http://hdl.handle.net/2437/240694A dolgozat témája az elektron és protonnynaláb litográfiával végzett kísérletek polimerekben. Tárgyalja a litográfiai rendszerek felépítését, működését. A polimerekben sugárzás hatására létrejövő kémiai és fizikai változások bemutatásával is foglalkozik.47huelektronlitográfiaprotonlitográfiaelektronmikroszkópPDMSPMMAElektron és protonnyaláb litográfia PDMS és PMMA anyagokbanDEENK Témalista::Fizika