Cserháti, CsabaJuhász, LauraBelák, Beáta2020-05-142020-05-142020http://hdl.handle.net/2437/287303Szakdolgozatomban háromdimenziós fémoxid szerkezetekben hőkezelés hatására végbemenő atommozgási folyamatokat vizsgáltam. Ehhez FIB-SEM berendezésben szilícium mintára szén és platina nanooszlopokat építettem, amelyet ALD berendezésben két különböző fémoxid réteggel vontam be: rendre alumínium-oxid és cink-oxid, illetve másik esetben cink-oxid és titán-dioxid vékonyrétegekkel. A mintát hőkezelés után a FIB-SEM berendezésben keresztmetszeti vizsgálatnak, elektronsugaras energiadiszperzív röntgenanalízisnek és STEM vizsgálatnak vetettem alá.56huFIB-SEMALDEDSnanooszlopDEENK Témalista::Fizika