Kovács, Réka LillaGyöngyösi, SzilviaLanger, Gábor AntalBaradács, EszterDaróczi, LajosBarkóczy, PéterErdélyi, Zoltán2021-10-202021-10-202021Thin Solid Films. -738 (2021), p. 1-13. -Thin Solid Films. - 0040-60900040-6090http://hdl.handle.net/2437/323060Effect of nanoscopic defects on barrier performance of thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition on flexible polymersidegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapbanopen access articlehttp://webpac.lib.unideb.hu:8082/ebib/CorvinaWeb?action=cclfind&resultview=long&ccltext=idno+BIBFORM097476TermészettudományokFizikai tudományokhttps://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S0040609021004430http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2021.1389602021-11-24