Katona, GáborBalogh, István2016-05-052016-05-052016-05-04http://hdl.handle.net/2437/226508A dolgozatban vékonyrétegek, tehát néhány nm-től néhány száz nm-ig terjedő vastagságú rétegek elkészítéséhez és vizsgálatához szükséges eszközök és eljárások vannak részletezve. A megszerzett gyakorlati ismereteket felhasználva réz-nikkel és nikkel-réz multirétegek lettek készítve magnetronos porlasztóval, majd növekvő hőmérsékleteken hőkezelve kemencében. A hőkezelés után a minták SNMS-ben lettek megvizsgálva. A dolgozat ezeknek az adatoknak a feldolgozását és kiértékelését egyaránt tartalmazza.33huhőkezelésdiffúzióvékonyrétegSNMSDEENK Témalista::Fizika