Cserháti, CsabaNagy, Péter2012-11-262012-11-262012-11-222012-11-26http://hdl.handle.net/2437/153306A szakdolgozat az alapvető litográfiai eljárás bemutatásán keresztül ismerteti az elektronlitográfiát. Bemutatásra kerül ezentúl az, ehhez az eljáráshoz használt, pásztázó elektronmikroszkóp is. A dolgozat bemutatja a konkrét, felhasznált eszközöket. Az eljárás alapjául szolgáló algoritmusok (állapotgép, termelő-fogyasztó séma, Midpoint algoritmus) után ezek implementálását részletezi. A forráskód ismertetése mellett annak használatát is bemutatja.45huelektronlitográfiaelektronmikroszkópSzoftver