Csík, AttilaSzabó, Éva2014-05-092014-05-092014-05-092014-05-09http://hdl.handle.net/2437/191789Munkám során az MTA Atommagkutató Intézetben a 2013-as év végén üzembe helyezett Beneq TFS-200 típusú atomi rétegleválasztó berendezés (ALD) működési paramétereinek optimalizálásával, Al2O3 vékonyrétegek előállításával és az elkészült minták vizsgálatával, minősítésével foglalkoztam. A különböző rétegvastagsággal előállított mintákat felületi egyenetlenségeit pásztázó elektronmikroszkóp (SEM) segítségével vizsgáltuk, az egyes elemek mélységi eloszlását másodlagos semleges részecske tömegspketrométer (SNMS) alkalmazásával állapítottuk meg.24huALDanalízisDEENK Témalista::Kémia::Alkalmazott kémia