Langer, GáborDiós, Sándor2010-05-062010-05-0620102010-05-06http://hdl.handle.net/2437/95680Diplomamunkám folyamán a MgO diffúziós barrier tulajdonságait vizsgáltam. Si/15nmMgO/50nmCu, valamint Si/MgO/Cu/ITO(indium-ónoxid) mintákat készítettem magnetronos porlasztással. . A különböző hőmérsékleten hőkezelt minták mélységi profilját szekunder neutrális tömegspektrometria (SNMS) segítségével mértem.32hudiffúzióbarrierSNMSDEENK Témalista::Fizika::Szilárdtestfizika