Cserháti, CsabaNagy, Dóra2017-05-112017-05-112017http://hdl.handle.net/2437/240022Szakdolgozati munkám során a Debreceni Egyetem Szilárdtest Fizikai Tanszék HITACHI S4300-CFE típusú pásztázó elektronmikroszkópját (SEM: Scanning Electron Microscope) használtam elektonlitográfiás eszközként. A berendezés elektronnyalábja eltérítő tekercsekre feszültséget kapcsolva, közvetlenül vezérelhető. Az általam elkészített program egyik célja, a jelenlegi rendszerhez képest a pásztázás gyorsítása, a mintázat minőségének romlása nélkül, sőt a proximity effektus csökkentésével.53hupásztázó elektronmikroszkóp (SEM), elektronlitográfia, miko- és nanolitográfiaDEENK Témalista::InformatikaDEENK Témalista::Fizika