Erdélyi, ZoltánBálint, SzabolcsAlmásy, Orsolya2017-11-162017-11-162017http://hdl.handle.net/2437/245556Szilícium szeletek tisztaságát vizsgáltuk fotovezetésen alapuló méréssel. Ehhez magas hőmérsékleten oxidot növesztettünk a szeletekre. A leggyakrabban használt tisztítási, mintakezelési és mérési eljárások során használt eszközök és vegyi anyagok minőségének hatását vizsgáltuk. A mérő- és mintakezelési módszereinkkel kapcsolatos fejlesztésekre mutattunk rá. Ipari környezetben használt méréstechnika számára elegendő oxidréteg-vastagság növesztéséhez szükséges feltételeket meghatároztuk.30huszilíciummagas hőmérsékletoxidDEENK Témalista::FizikaDEENK Témalista::Kémia