Lemago, HamsasewArwen, Soeun ChoiHessz, DóraJágerszki, GyulaPál, PetraCserháti, CsabaBaradács, EszterFodor, TamásErdélyi, ZoltánSzilágyi, Imre Miklós2025-03-272025-03-272025Vacuum. -238 (2025), p. 1-11. -(cikkazonosító)114254-. -Vacuum. - 0042-207X0042-207Xhttps://hdl.handle.net/2437/388631Thermal and plasma-enhanced ALD for the synthesis of inverse opal Al2O3 and its composite materialsfolyóiratcikkopnen acces articlehttps://ebib.lib.unideb.hu/ebib/CorvinaWeb?action=cclfind&resultview=long&ccltext=idno+BIBFORM129060TermészettudományokFizikai tudományokhttps://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S0042207X25002441szerzőhttp://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.1142542025-03-2786000633151