Cserháti, CsabaNagy, Anett2017-05-112017-05-112017http://hdl.handle.net/2437/240075Diplomamunkám célkitűzése az volt, hogy különböző kémiai eljárásokkal (Metal Assisted Chemical Etching és galvanizáció segítségével), illetve elektronsugaras litográfiával hengeres nanostruktúrákat állítsak elő. Ezen szerkezetek felülete a későbbiekben ALD (Atomic Layer Deposition) módszerrel különböző fémoxidokkal vonható be.43hunanoszerkezetMACEgalvanizációelektronsugaras litográfiaDEENK Témalista::Fizika