Lemago, HamsasewKhauli, NourHessz, DóraIgricz, TamásPál, PetraCserháti, CsabaBaradács, EszterParditka, BenceErdélyi, ZoltánSzilágyi, Imre Miklós2024-09-022024-09-022024Materials Science In Semiconductor Processing. -183 (2024), p. 1-13. -(cikkazonosító)108733. -Mater. Sci. Semicond. Process. - 1369-80011369-8001https://hdl.handle.net/2437/379414folyóiratcikkopen access articlehttps://ebib.lib.unideb.hu/ebib/CorvinaWeb?action=cclfind&resultview=long&ccltext=idno+BIBFORM123681TermészettudományokFizikai tudományokhttps://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S1369800124006292Szerzőhttp://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2024.1087332024-09-0200128883360000185200261999