Rajta, IstvánSzilasi, Szabolcs Zoltán2012-07-032012-07-032012http://hdl.handle.net/2437/130522Az anyagban a besugárzó részecskék által bejárt pályán az anyag fizikai és kémiai tulajdonságai módosulnak. A besugárzásokat a szükséges mintázatnak megfelelően elvégezve egy látens képet hozunk létre, ami megfelelő eljárással előhívható. A kialakult változások mértékét hangolni lehet a besugárzás paramétereinek megfelelő megválasztásával. Mikrostruktúrák létrehozásakor a reziszt anyagokban lejátszódó fizikai és kémiai folyamatok ismerete alapvető fontosságú. Doktori munkám során protonnyalábos mikromegmunkáláshoz kapcsolódó szerteágazó vizsgálatokat végeztem PMMA és PDMS polimeren. Vizsgáltam a protonnyalábbal történő besugárzás hatására kialakuló fizikai és kémiai változásokat, és a kapott eredményeket a gyakorlatban is alkalmaztam mikrostruktúrák létrehozására.121huprotonnyalábos mikromegmunkálásmikromegmunkálásrészecskegyorsítóprotonpolimertörésmutatókémiafizikaFTIRRamanellipszometriaAFMmikroalkatrészbesugárzásProtonnyaláb okozta fizikai és kémiai változások vizsgálata polimerekben és alkalmazásaik a protonnyalábos mikromegmunkálásbanInvestigation of physical and chemical changes in polymers due to proton irradiation, applications of the results in proton beam writingFizikai tudományokTermészettudományok