Parditka, Bence IstvánKovacs, Beata2022-05-052022-05-052022-05-04http://hdl.handle.net/2437/332321Nanorétegek előállítása PVD (Physical Vapor Deposition) és CVD (Chemical Vapor Deposition) eljárásokkal. Ezeken belül magnetronos porlasztással és ALD-vel (Atomic Layer Deposition). A létrejött vékonyrétegek vizsgálata XRD (röntgen diffraktométer) illetve ellipszométer segítségével történt.38huvékonyrétegeknanorétegekALDCVDPVDmagnetronos porlasztásDEENK Témalista::Fizika