Vékonyrétegek pára- és gázáteresztésének vizsgálata

Dátum
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt

Kutatómunkám során meghatároztam akril alapú vékonyréteg bevonatok páraáteresztő képességét, permeabilitását, a vízpára bennük mérhető oldékonyságát, valamint utóbbiak felhasználásával a diffúziós együtthatókat. Az Arrhenius összefüggés alapján megadtam a bevonóanyagokban a vízpára diffúzió aktiválási energia és preexponenciális tényező értékeket. Plazma segített atomi rétegleválasztó berendezést közvetett plazma módban működtetve elvégeztem a flexibilis polimer hordozó felületének különböző idejű, eltérő gázokkal végzett plazma aktiválását. A felszíni változások vizsgálata Fourier-transzformációs infravörös spektroszkópia segítségével, főkomponens elemzés végrehajtásával történt. Atomi rétegleválasztó berendezéssel flexibilis polimer hordozóra felvitt, különböző vastagságú Al2O3 rétegek gázáteresztési tulajdonságait vizsgálatam. Eszközt és mérési módszert fejlesztettem ezen oxidrétegek kontrollált módon, gázáteresztés méréssel összekötött in-situ repesztésére irányulóan. Az oxidokban repesztés hatására kialakult hibák gázáteresztésre gyakorolt hatásának kísérleti elemzését számítógépes szimulációkkal egészítettem ki a hibahálózat komplex hatásainak megismerése érdekében.


During my PhD research work I determined the water vapor transmission rate, permeability, solubility and by using the latter, the diffusion coefficients of acrylic-based thin film coatings. Based on the Arrhenius relation, I gave the values of water vapor diffusion activation energy and preexponential factor in the coating materials. By operating a plasma-enhanced atomic layer deposition equipment in remote plasma mode, I performed plasma activation on the flexible polymer substrate surface with different gases at different exposure times. Changes in the surface characteristics were examined by Fourier transform infrared spectroscopy, and principal component analysis. I investigated the gas permeability properties of atomic layer deposited Al2O3 layers of different thicknesses on flexible polymer substrates. I have introduced a measurement method for in situ investigation of the effect of thin film cracking on the gas permeation of coated flexible polymeric substrates. The experimental analysis of the effect of cracks on gas permeability was supplemented with computer simulations to understand the complex influence of the crack network.

Leírás
Kulcsszavak
Vékonyrétegek, Thin films, Vízpáraáteresztő képesség, Gázáteresztő képesség, Water vapor permeability, Gas permeability, Thin films
Forrás