Vékonyrétegek pára- és gázáteresztésének vizsgálata

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorErdélyi, Zoltán
dc.contributor.authorKovács, Réka Lilla
dc.contributor.authorvariantKovács, Réka Lilla
dc.contributor.departmentFizikai tudományok doktori iskolahu
dc.contributor.submitterdepDE--Természettudományi és Technológiai Kar -- Szilárdtest Fizikai Tanszék
dc.date.accessioned2022-02-09T08:26:47Z
dc.date.available2022-02-09T08:26:47Z
dc.date.created2022hu_HU
dc.date.defended2022-03-09
dc.description.abstractKutatómunkám során meghatároztam akril alapú vékonyréteg bevonatok páraáteresztő képességét, permeabilitását, a vízpára bennük mérhető oldékonyságát, valamint utóbbiak felhasználásával a diffúziós együtthatókat. Az Arrhenius összefüggés alapján megadtam a bevonóanyagokban a vízpára diffúzió aktiválási energia és preexponenciális tényező értékeket. Plazma segített atomi rétegleválasztó berendezést közvetett plazma módban működtetve elvégeztem a flexibilis polimer hordozó felületének különböző idejű, eltérő gázokkal végzett plazma aktiválását. A felszíni változások vizsgálata Fourier-transzformációs infravörös spektroszkópia segítségével, főkomponens elemzés végrehajtásával történt. Atomi rétegleválasztó berendezéssel flexibilis polimer hordozóra felvitt, különböző vastagságú Al2O3 rétegek gázáteresztési tulajdonságait vizsgálatam. Eszközt és mérési módszert fejlesztettem ezen oxidrétegek kontrollált módon, gázáteresztés méréssel összekötött in-situ repesztésére irányulóan. Az oxidokban repesztés hatására kialakult hibák gázáteresztésre gyakorolt hatásának kísérleti elemzését számítógépes szimulációkkal egészítettem ki a hibahálózat komplex hatásainak megismerése érdekében.hu_HU
dc.description.abstractDuring my PhD research work I determined the water vapor transmission rate, permeability, solubility and by using the latter, the diffusion coefficients of acrylic-based thin film coatings. Based on the Arrhenius relation, I gave the values of water vapor diffusion activation energy and preexponential factor in the coating materials. By operating a plasma-enhanced atomic layer deposition equipment in remote plasma mode, I performed plasma activation on the flexible polymer substrate surface with different gases at different exposure times. Changes in the surface characteristics were examined by Fourier transform infrared spectroscopy, and principal component analysis. I investigated the gas permeability properties of atomic layer deposited Al2O3 layers of different thicknesses on flexible polymer substrates. I have introduced a measurement method for in situ investigation of the effect of thin film cracking on the gas permeation of coated flexible polymeric substrates. The experimental analysis of the effect of cracks on gas permeability was supplemented with computer simulations to understand the complex influence of the crack network.hu_HU
dc.description.correctorhbk
dc.format.extent126hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/328517
dc.language.isohuhu_HU
dc.language.isoenhu_HU
dc.subjectVékonyrétegekhu_HU
dc.subjectThin filmshu_HU
dc.subjectVízpáraáteresztő képesség
dc.subjectGázáteresztő képesség
dc.subjectWater vapor permeability
dc.subjectGas permeability
dc.subjectThin films
dc.subject.disciplineFizikai tudományokhu
dc.subject.sciencefieldTermészettudományokhu
dc.titleVékonyrétegek pára- és gázáteresztésének vizsgálatahu_HU
dc.title.translatedInvestigation of water vapor and gas permeability of thin filmshu_HU
Fájlok
Eredeti köteg (ORIGINAL bundle)
Megjelenítve 1 - 2 (Összesen 2)
Nem elérhető
Név:
Disszertacio_Kovacs_Reka_Lilla_titkositott.pdf
Méret:
3.64 MB
Formátum:
Adobe Portable Document Format
Leírás:
Disszertáció
Letöltés
Nem elérhető
Név:
Tezisfuzet_Kovacs_Reka_Lilla_titkositott.pdf
Méret:
830.93 KB
Formátum:
Adobe Portable Document Format
Leírás:
Tézisfüzet
Letöltés
Engedélyek köteg
Megjelenítve 1 - 1 (Összesen 1)
Nem elérhető
Név:
license.txt
Méret:
1.93 KB
Formátum:
Item-specific license agreed upon to submission
Leírás:
Letöltés
Gyűjtemények
Fizikai Tudományok Doktori Iskola