Diplomamunkám során hengeres geometriában végbemenő diffúzió vizsgálata állt a középpontban. Célom az volt, hogy tanulmányozzam a görbületi sugár befolyását a diffúzió folyamatára. Ennek érdekében nanoméretű platina oszlopokat hoztam létre GIS-el felszerelt FIB/SEM berendezés segítségével. Ezen oszlopcsoportokat oxidrétegekkel vontam be, hogy vizsgálhassam a rétegek között végbemenő kölcsönön diffúziót, illetve a diffúzió hatására létrejövő intermetallikus fázis vastagságát az oszlopátmérők függvényében. Az oxidrétegek előállítására termikus ALD rétegleválasztási módszert alkalmaztam. A mintákat 700°C-on hőkezeltem, majd transzmissziós elektronmikroszkópos megfigyelésre alkalmas, vékony lamellákat hoztam létre, melyek gyártását és megfigyelését kombinált FIB-SEM berendezéssel végeztem. A elkészült lamellákról STEM felvételeket készítettem, amiken mértem a keletkezett új intermetallikus fázis vastagságát.