Atomi vastagságú rétegek pára- és gázáteresztő képességének vizsgálata
Absztrakt
Atomi vastagságú rétegek pára- és gázáteresztő képességének vizsgálata.
Leírás
Kulcsszavak
Oxidrétegek, Páraáteresztés, Gázáteresztés
Atomi vastagságú rétegek pára- és gázáteresztő képességének vizsgálata.