Atomi vastagságú rétegek pára- és gázáteresztő képességének vizsgálata

Dátum
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt

Atomi vastagságú rétegek pára- és gázáteresztő képességének vizsgálata.

Leírás
Kulcsszavak
Oxidrétegek, Páraáteresztés, Gázáteresztés
Forrás