Politetrafluoretilén protonbesugárzás hatására történő felületi változásainak vizsgálata

Dátum
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt

A diplomamunkám célkitűzése az volt, hogy a politetrafluoretilén (PTFE, teflon) felület viselkedését tanulmányozzam alacsony áramsűrűségű, defókuszált protonnyaláb hatására. Ehhez elsősorban a teflont be kellett sugároznom, a besugárzást követően pedig vizsgáltam a felületen bekövetkező változásokat és azok mértékét.

Leírás
Kulcsszavak
Politetrafluoretilén, PBW, Protonnyalábos mikromegmunkálás
Forrás