Politetrafluoretilén protonbesugárzás hatására történő felületi változásainak vizsgálata
Absztrakt
A diplomamunkám célkitűzése az volt, hogy a politetrafluoretilén (PTFE, teflon) felület viselkedését tanulmányozzam alacsony áramsűrűségű, defókuszált protonnyaláb hatására. Ehhez elsősorban a teflont be kellett sugároznom, a besugárzást követően pedig vizsgáltam a felületen bekövetkező változásokat és azok mértékét.
Leírás
Kulcsszavak
Politetrafluoretilén, PBW, Protonnyalábos mikromegmunkálás