Vékonyrétegek pára- és gázáteresztő képességének vizsgálata
Absztrakt
Diplomamunkámban vékonyrétegek pára- és gázáteresztő képességének mérésével foglalkozom. Dolgozatom két fő irányvonala az atomi rétegleválasztó (ALD) berendezéssel előállított fém-oxidok, valamint a restaurációs gyakorlatban használt bevonóanyagok vizsgálata.
Leírás
Kulcsszavak
Vékonyréteg, Atomi rétegleválasztás (ALD), Restaurációs bevonatok, pára-és gázáteresztés