Vékonyrétegek pára- és gázáteresztő képességének vizsgálata

Dátum
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt

Diplomamunkámban vékonyrétegek pára- és gázáteresztő képességének mérésével foglalkozom. Dolgozatom két fő irányvonala az atomi rétegleválasztó (ALD) berendezéssel előállított fém-oxidok, valamint a restaurációs gyakorlatban használt bevonóanyagok vizsgálata.

Leírás
Kulcsszavak
Vékonyréteg, Atomi rétegleválasztás (ALD), Restaurációs bevonatok, pára-és gázáteresztés
Forrás