Vékonyrétegek pára- és gázáteresztő képességének vizsgálata
Betöltés ...
Dátum
Authors
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
DOI
Absztrakt
Diplomamunkámban vékonyrétegek pára- és gázáteresztő képességének mérésével foglalkozom. Dolgozatom két fő irányvonala az atomi rétegleválasztó (ALD) berendezéssel előállított fém-oxidok, valamint a restaurációs gyakorlatban használt bevonóanyagok vizsgálata.