Atommozgási folyamatok vizsgálata három dimenziós fémoxid szerkezetekben

Abstract

Szakdolgozatomban háromdimenziós fémoxid szerkezetekben hőkezelés hatására végbemenő atommozgási folyamatokat vizsgáltam. Ehhez FIB-SEM berendezésben szilícium mintára szén és platina nanooszlopokat építettem, amelyet ALD berendezésben két különböző fémoxid réteggel vontam be: rendre alumínium-oxid és cink-oxid, illetve másik esetben cink-oxid és titán-dioxid vékonyrétegekkel. A mintát hőkezelés után a FIB-SEM berendezésben keresztmetszeti vizsgálatnak, elektronsugaras energiadiszperzív röntgenanalízisnek és STEM vizsgálatnak vetettem alá.