Atommozgási folyamatok vizsgálata három dimenziós fémoxid szerkezetekben

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorCserháti, Csaba
dc.contributor.advisorJuhász, Laura
dc.contributor.authorBelák, Beáta
dc.contributor.departmentDE--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézethu_HU
dc.date.accessioned2020-05-14T14:44:43Z
dc.date.available2020-05-14T14:44:43Z
dc.date.created2020
dc.description.abstractSzakdolgozatomban háromdimenziós fémoxid szerkezetekben hőkezelés hatására végbemenő atommozgási folyamatokat vizsgáltam. Ehhez FIB-SEM berendezésben szilícium mintára szén és platina nanooszlopokat építettem, amelyet ALD berendezésben két különböző fémoxid réteggel vontam be: rendre alumínium-oxid és cink-oxid, illetve másik esetben cink-oxid és titán-dioxid vékonyrétegekkel. A mintát hőkezelés után a FIB-SEM berendezésben keresztmetszeti vizsgálatnak, elektronsugaras energiadiszperzív röntgenanalízisnek és STEM vizsgálatnak vetettem alá.hu_HU
dc.description.correctorN.I.
dc.description.courseFizika- matematika OMAhu_HU
dc.description.degreeegységes, osztatlanhu_HU
dc.format.extent56hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/287303
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectFIB-SEMhu_HU
dc.subjectALDhu_HU
dc.subjectEDShu_HU
dc.subjectnanooszlophu_HU
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizikahu_HU
dc.titleAtommozgási folyamatok vizsgálata három dimenziós fémoxid szerkezetekbenhu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Fizikai Intézet)