Munkám során CoPtAu rendszerben alacsony hőmérsékletű hőkezelések hatására bekövetkező folyamatokat vizsgáltam. A vizsgálatokat magnetronos porlasztással készített CoAuPt vékonyrétegeken végeztük. A kíséreletek alacsony hőmérsékleten történtek, ahol térfogati diffúziós jelenségek nem lépnek fel. Ezen körülmények között figyeltük meg a hideg homogenizáció során kialakuló rendszert, és annak tulajdonságait. Dolgozatomban ismertetem az alapvető diffúziós jelenségeket, bemutatom a mintakészítéshez, illetve méréshez használt berendezéseket, tárgyalom a vizsgált rendszer tulajdonságait és értelmezem a kísérletek során bekövetkezett változásokat.