Kalkogenidek mikromegmunkálása MeV energiájú hélium ionokkal

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorRajta, István
dc.contributor.advisorMolnár, Sándor
dc.contributor.authorVarga, Flóra
dc.contributor.departmentDE--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézethu_HU
dc.date.accessioned2019-05-09T07:00:35Z
dc.date.available2019-05-09T07:00:35Z
dc.date.created2019-05-08
dc.description.abstractDolgozatom elkészítése során célom az amorf kalkogenidek vizsgálata,szerkezeti és optikai tulajdonságainak megismerése, változásainak megfigyelése volt. A vákuumpárologtatással leválasztott kalkogenid réteg besugárzása 2 MeV energiájú hélium nyalábbal történt. A mikromegmunkálás után megvizsgáltam, hogy a besugárzott részek optikai paraméterei mutattak-e változást, illetve a réteg felületi struktúráját is feltérképeztem.hu_HU
dc.description.correctorDO
dc.description.courseAnyagtudomány Mschu_HU
dc.description.degreeMSc/MAhu_HU
dc.format.extent34 oldalhu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/267186
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectkalkogenidekhu_HU
dc.subjectmikromegmunkáláshu_HU
dc.subjecthéliumhu_HU
dc.subjectionokhu_HU
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizikahu_HU
dc.titleKalkogenidek mikromegmunkálása MeV energiájú hélium ionokkalhu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Fizikai Intézet)