Dolgozatom elkészítése során célom az amorf kalkogenidek vizsgálata,szerkezeti és optikai tulajdonságainak megismerése, változásainak megfigyelése volt. A vákuumpárologtatással leválasztott kalkogenid réteg besugárzása 2 MeV energiájú hélium nyalábbal történt. A mikromegmunkálás után megvizsgáltam, hogy a besugárzott részek optikai paraméterei mutattak-e változást, illetve a réteg felületi struktúráját is feltérképeztem.