Kalkogenidek mikromegmunkálása MeV energiájú hélium ionokkal
Betöltés ...
Dátum
Authors
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
DOI
Absztrakt
Dolgozatom elkészítése során célom az amorf kalkogenidek vizsgálata,szerkezeti és optikai tulajdonságainak megismerése, változásainak megfigyelése volt. A vákuumpárologtatással leválasztott kalkogenid réteg besugárzása 2 MeV energiájú hélium nyalábbal történt. A mikromegmunkálás után megvizsgáltam, hogy a besugárzott részek optikai paraméterei mutattak-e változást, illetve a réteg felületi struktúráját is feltérképeztem.