TiN rétegek és plazmonikai struktúrák technológiája

Dátum
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt

TiN vékonyréteg készítése, lézeres flület megmunklás, kialaklt struktúra vizsálata

Leírás
Kulcsszavak
TiN, plazmon
Forrás