TiN rétegek és plazmonikai struktúrák technológiája
Dátum
Szerzők
Ötvös, Ádám
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
TiN vékonyréteg készítése, lézeres flület megmunklás, kialaklt struktúra vizsálata
Leírás
Kulcsszavak
TiN, plazmon