TiN rétegek és plazmonikai struktúrák technológiája
Absztrakt
TiN vékonyréteg készítése, lézeres flület megmunklás, kialaklt struktúra vizsálata
Leírás
Kulcsszavak
TiN, plazmon
TiN vékonyréteg készítése, lézeres flület megmunklás, kialaklt struktúra vizsálata