Direct surface patterning of amorphous chalcogenide layers with high- energy H+ and He+ ion beams
Fájlok
Dátum
2019
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Forrás
Journal of Materials Science-Materials in Electronics. -30 : 16 (2019), p. 15331-15338. -J. Mater. Sci.-Mater. Electron. - 0957-4522