Inhibition of interlayer diffusion and reduction of impurities in thin metal films by ion irradiation
Fájlok
Dátum
2023
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Forrás
Materials Today Communications. -34 (2023), p. 1-9. -Materials Today Communications. - 2352-4928