Félvezető iparban használatos mintatartók vizsgálata felületmegmunkálási és felületkezelési szempontok alapján
Fájlok
Dátum
Szerzők
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Felületmegmunkálás utáni síklapúság vizsgálata interferométerrel. Különböző minőségű alumínium ötvözetek összetétel vizsgálata XRF segítségével. Felületkezelési folyamatok, natúr- és fekete keményeloxálás során növesztett réteg vastagságának meghatározása, Vickers-féle keménységmérése és minőségének vizsgálata, a kapott értékek párhuzamba állítása a kiindulási alapanyagok összetételével. Szövetszerkezetek vizsgálata Keyence optikai mikroszkóp segítségével.
Leírás
Kulcsszavak
felületkezelés, felületmegmunkálás, felületminőség meghatározása