Elektronlitográfia pásztázó elektronmikroszkóppal

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorCserháti, Csaba
dc.contributor.authorNagy, Péter
dc.contributor.departmentDE--TEK--Informatikai Karhu_HU
dc.date.accessioned2012-11-26T09:22:34Z
dc.date.available2012-11-26T09:22:34Z
dc.date.created2012-11-22
dc.date.issued2012-11-26T09:22:34Z
dc.description.abstractA szakdolgozat az alapvető litográfiai eljárás bemutatásán keresztül ismerteti az elektronlitográfiát. Bemutatásra kerül ezentúl az, ehhez az eljáráshoz használt, pásztázó elektronmikroszkóp is. A dolgozat bemutatja a konkrét, felhasznált eszközöket. Az eljárás alapjául szolgáló algoritmusok (állapotgép, termelő-fogyasztó séma, Midpoint algoritmus) után ezek implementálását részletezi. A forráskód ismertetése mellett annak használatát is bemutatja.hu_HU
dc.description.courseMérnök informatikushu_HU
dc.description.degreeBschu_HU
dc.format.extent45hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/153306
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectelektronlitográfiahu_HU
dc.subjectelektronmikroszkóphu_HU
dc.subject.dspaceSzoftverhu_HU
dc.titleElektronlitográfia pásztázó elektronmikroszkóppalhu_HU
dc.title.translatedElectron-beam litography with scanning electron microscopehu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Informatikai Kar)