Relationship between structural changes, hydrogen content and annealing in stacks of ultrathin Si/Ge amorphous layers

Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Természettudományok, Fizikai tudományok
Jogtulajdonos
BioMed Central Ltd.
Jelzet
Egyéb azonosító
Forrás
Nanoscale Research Letters. -6 : 189 (2011), p. 1-6. -Nanoscale Res. Lett. - 1556-276X
Támogatás
TÁMOP-4.2.1/B-09/1/KONV-2010-0007