Reziszt réteg ionnyaláb módosítása
Dátum
2012-12-08T11:59:02Z
Szerzők
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Dolgozatom célja bemutatni a reziszt rétegek ionnyalábbal való módosítását elméleti és gyakorlati szempontok alapján
Leírás
Kulcsszavak
rezisztréteg, ionnyaláb