Ipari minták felületvizsgálata

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorTakáts, Viktor
dc.contributor.authorHudák, Anikó
dc.contributor.departmentDE--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézethu_HU
dc.date.accessioned2020-05-12T17:27:37Z
dc.date.available2020-05-12T17:27:37Z
dc.date.created2020
dc.description.abstractJelen diplomamunka részletesen kitér a különböző nagy érzékenységű felületvizsgálati módszerekre és arra, hogy emiatt a berendezések gyakran nagy vákuumban üzemelnek, külön hangsúlyt fektetve az XPS, ISS és SPM módszerekre és az azok közti választáshoz szükséges szempontokra. Saját méréseken keresztül szemléltetem a különböző módszerek előnyeit és hátrányait, valamint egy ipari minta hibájának feltárásához vezető „utat” méréseken keresztül.hu_HU
dc.description.correctorN.I.
dc.description.courseAnyagtudomány MSchu_HU
dc.description.degreeMSc/MAhu_HU
dc.format.extent41hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/286973
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectanyagtudományhu_HU
dc.subjectipar
dc.subjectfelületvizsgálat
dc.subjectXPS
dc.subjectISS
dc.subjectSPM
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizikahu_HU
dc.titleIpari minták felületvizsgálatahu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Fizikai Intézet)