Porózus nanoszerkezetek vizsgálata

Abstract

A munka során porózus arany nanoszerkezetet hoztunk létre. Ehhez Si-hordozóra TiO2 réteg került ALD technikával, majd magnetronos porlasztással Au réteg, Au-Cu réteg került. A porózus szerkezet kialakításához a deylloying eljárást alkalmaztuk, melynek sikeres eredményeként a réz kioldódott az arany közül, így létrejött az általunk elérni kívánt szerkezet. Ezt követően ellipszometriás vizsgálaton esett át a minta, a porozitás vizsgálata céljából. Az utolsó réteg az Al2O3 réteg szintén ALD technikával került a mintánkra, porozitás változtatása céljából. Újabb ellipszometriás vizsgálatok következtek, ami kimutatta, hogy a munka sikeres volt, változott a minta porozitása.