Porózus nanoszerkezetek vizsgálata

dc.contributor.advisorCserháti, Csaba
dc.contributor.advisorJuhász, Laura
dc.contributor.authorMellau, Boglárka
dc.contributor.departmentDE--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézet
dc.date.accessioned2023-05-05T11:21:37Z
dc.date.available2023-05-05T11:21:37Z
dc.date.created2023-05-05
dc.description.abstractA munka során porózus arany nanoszerkezetet hoztunk létre. Ehhez Si-hordozóra TiO2 réteg került ALD technikával, majd magnetronos porlasztással Au réteg, Au-Cu réteg került. A porózus szerkezet kialakításához a deylloying eljárást alkalmaztuk, melynek sikeres eredményeként a réz kioldódott az arany közül, így létrejött az általunk elérni kívánt szerkezet. Ezt követően ellipszometriás vizsgálaton esett át a minta, a porozitás vizsgálata céljából. Az utolsó réteg az Al2O3 réteg szintén ALD technikával került a mintánkra, porozitás változtatása céljából. Újabb ellipszometriás vizsgálatok következtek, ami kimutatta, hogy a munka sikeres volt, változott a minta porozitása.
dc.description.correctorLB
dc.description.courseAnyagtudomány
dc.description.degreeMSc/MA
dc.format.extent27
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/2437/352032
dc.language.isohu
dc.rights.accessHozzáférhető a 2022 decemberi felsőoktatási törvénymódosítás értelmében.
dc.subjectporózus anyagok
dc.subjectSEM
dc.subjectTEM
dc.subjectellipszometria
dc.subjectdealloying
dc.subjectporlasztás
dc.subjectporózus anyag
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizika::Szilárdtestfizika
dc.titlePorózus nanoszerkezetek vizsgálata
Fájlok