Elektronsugaras Litográfia Kalkogenid Rétegekben
Dátum
2013-12-11T12:07:04Z
Szerzők
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Kalkogenid rétegekben elektronsugár által stimulált változások vizsgálata.
Leírás
Kulcsszavak
litográfia, kalkogenid