A szakdolgozat célkitűzése a különféle kobalt-szilicid rendszerekben lejátszódó diffúziós folyamatok leírása. A dolgozat felépítését tekintve az alapvető elméleti ismereteken túl bemutatja a mintakészítés folyamatát, a vékonyrétegek vizsgálatát segítő kísérleti módszereket, valamint a végeredményként kapott kölcsönös diffúziós együttható meghatározására szolgáló számolási-kiértékelési módszereket.