Nanorétegek előállítása és vizsgálata
Absztrakt
Nanorétegek előállítása PVD (Physical Vapor Deposition) és CVD (Chemical Vapor Deposition) eljárásokkal. Ezeken belül magnetronos porlasztással és ALD-vel (Atomic Layer Deposition). A létrejött vékonyrétegek vizsgálata XRD (röntgen diffraktométer) illetve ellipszométer segítségével történt.
Leírás
Kulcsszavak
vékonyrétegek, nanorétegek, ALD, CVD, PVD, magnetronos porlasztás