Nanorétegek előállítása PVD (Physical Vapor Deposition) és CVD (Chemical Vapor Deposition) eljárásokkal. Ezeken belül magnetronos porlasztással és ALD-vel (Atomic Layer Deposition). A létrejött vékonyrétegek vizsgálata XRD (röntgen diffraktométer) illetve ellipszométer segítségével történt.