Nanorétegek előállítása és vizsgálata
dc.contributor.advisor | Parditka, Bence István | |
dc.contributor.author | Kovacs, Beata | |
dc.contributor.department | DE--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézet | hu_HU |
dc.date.accessioned | 2022-05-05T06:19:09Z | |
dc.date.available | 2022-05-05T06:19:09Z | |
dc.date.created | 2022-05-04 | |
dc.description.abstract | Nanorétegek előállítása PVD (Physical Vapor Deposition) és CVD (Chemical Vapor Deposition) eljárásokkal. Ezeken belül magnetronos porlasztással és ALD-vel (Atomic Layer Deposition). A létrejött vékonyrétegek vizsgálata XRD (röntgen diffraktométer) illetve ellipszométer segítségével történt. | hu_HU |
dc.description.course | Fizika | hu_HU |
dc.description.degree | BSc/BA | hu_HU |
dc.format.extent | 38 | hu_HU |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2437/332321 | |
dc.language.iso | hu | hu_HU |
dc.subject | vékonyrétegek | hu_HU |
dc.subject | nanorétegek | hu_HU |
dc.subject | ALD | hu_HU |
dc.subject | CVD | hu_HU |
dc.subject | PVD | hu_HU |
dc.subject | magnetronos porlasztás | hu_HU |
dc.subject.dspace | DEENK Témalista::Fizika | hu_HU |
dc.title | Nanorétegek előállítása és vizsgálata | hu_HU |