Nanorétegek előállítása és vizsgálata

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorParditka, Bence István
dc.contributor.authorKovacs, Beata
dc.contributor.departmentDE--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézethu_HU
dc.date.accessioned2022-05-05T06:19:09Z
dc.date.available2022-05-05T06:19:09Z
dc.date.created2022-05-04
dc.description.abstractNanorétegek előállítása PVD (Physical Vapor Deposition) és CVD (Chemical Vapor Deposition) eljárásokkal. Ezeken belül magnetronos porlasztással és ALD-vel (Atomic Layer Deposition). A létrejött vékonyrétegek vizsgálata XRD (röntgen diffraktométer) illetve ellipszométer segítségével történt.hu_HU
dc.description.courseFizikahu_HU
dc.description.degreeBSc/BAhu_HU
dc.format.extent38hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/332321
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectvékonyrétegekhu_HU
dc.subjectnanorétegekhu_HU
dc.subjectALDhu_HU
dc.subjectCVDhu_HU
dc.subjectPVDhu_HU
dc.subjectmagnetronos porlasztáshu_HU
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizikahu_HU
dc.titleNanorétegek előállítása és vizsgálatahu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Fizikai Intézet)