Szerző szerinti böngészés "Kovacs, Beata"
Megjelenítve 1 - 1 (Összesen 1)
Találat egy oldalon
Rendezési lehetőségek
Tétel Korlátozottan hozzáférhető Nanorétegek előállítása és vizsgálataKovacs, Beata; Parditka, Bence István; DE--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai IntézetNanorétegek előállítása PVD (Physical Vapor Deposition) és CVD (Chemical Vapor Deposition) eljárásokkal. Ezeken belül magnetronos porlasztással és ALD-vel (Atomic Layer Deposition). A létrejött vékonyrétegek vizsgálata XRD (röntgen diffraktométer) illetve ellipszométer segítségével történt.