Elektron és protonnyaláb litográfia PDMS és PMMA anyagokban

Dátum
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt

A dolgozat témája az elektron és protonnynaláb litográfiával végzett kísérletek polimerekben. Tárgyalja a litográfiai rendszerek felépítését, működését. A polimerekben sugárzás hatására létrejövő kémiai és fizikai változások bemutatásával is foglalkozik.

Leírás
Kulcsszavak
elektronlitográfia, protonlitográfia, elektronmikroszkóp, PDMS, PMMA
Forrás