Elektron és protonnyaláb litográfia PDMS és PMMA anyagokban
Betöltés ...
Dátum
Authors
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
DOI
Absztrakt
A dolgozat témája az elektron és protonnynaláb litográfiával végzett kísérletek polimerekben. Tárgyalja a litográfiai rendszerek felépítését, működését. A polimerekben sugárzás hatására létrejövő kémiai és fizikai változások bemutatásával is foglalkozik.