Elektron és protonnyaláb litográfia PDMS és PMMA anyagokban
Absztrakt
A dolgozat témája az elektron és protonnynaláb litográfiával végzett kísérletek polimerekben. Tárgyalja a litográfiai rendszerek felépítését, működését. A polimerekben sugárzás hatására létrejövő kémiai és fizikai változások bemutatásával is foglalkozik.
Leírás
Kulcsszavak
elektronlitográfia, protonlitográfia, elektronmikroszkóp, PDMS, PMMA