Elektron és protonnyaláb litográfia PDMS és PMMA anyagokban

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorCserháti, Csaba
dc.contributor.advisorHuszánk, Róbert
dc.contributor.authorNémeth, Levente
dc.contributor.departmentDE--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézethu_HU
dc.date.accessioned2017-05-19T10:01:48Z
dc.date.available2017-05-19T10:01:48Z
dc.date.created2017-05-19
dc.description.abstractA dolgozat témája az elektron és protonnynaláb litográfiával végzett kísérletek polimerekben. Tárgyalja a litográfiai rendszerek felépítését, működését. A polimerekben sugárzás hatására létrejövő kémiai és fizikai változások bemutatásával is foglalkozik.hu_HU
dc.description.correctorgj
dc.description.courseAnyagtudomány MSchu_HU
dc.description.degreeMSc/MAhu_HU
dc.format.extent47hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/240694
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjectelektronlitográfiahu_HU
dc.subjectprotonlitográfia
dc.subjectelektronmikroszkóp
dc.subjectPDMS
dc.subjectPMMA
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizikahu_HU
dc.titleElektron és protonnyaláb litográfia PDMS és PMMA anyagokbanhu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Természettudományi és Technológiai Kar)