Electron irradiation induced amorphous SiO2 formation at metal oxide/Si interface at room temperature; electron beam writing on interfaces

A tétel rövid nézete
dc.contributor.authorGurbán, Sándor
dc.contributor.authorPetrik, P.
dc.contributor.authorSerényi, Miklós
dc.contributor.authorSulyok, Attila
dc.contributor.authorMenyhárd, Miklós
dc.contributor.authorBaradács, Eszter
dc.contributor.authorParditka, Bence
dc.contributor.authorCserháti, Csaba
dc.contributor.authorLanger, Gábor Antal
dc.contributor.authorErdélyi, Zoltán
dc.date.accessioned2018-02-05T10:30:00Z
dc.date.available2018-02-05T10:30:00Z
dc.date.issued2018
dc.date.oa2018-02-21
dc.date.pasync2022-11-15T12:02:14Z
dc.date.updated2020-10-23T00:30:26Z
dc.description.correctorKA
dc.identifier.citationScientific Reports. -8 : 1 (2018), p. 1-7. -Sci. Rep. - 2045-2322
dc.identifier.doihttp://dx.doi.org/10.1038/s41598-018-20537-4
dc.identifier.issn2045-2322
dc.identifier.opachttp://webpac.lib.unideb.hu:8082/ebib/CorvinaWeb?action=cclfind&resultview=long&ccltext=idno+BIBFORM072279
dc.identifier.scopus85041631046
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/247914
dc.identifier.urlhttp://www.nature.com/articles/s41598-018-20537-4
dc.identifier.wos000423787500099
dc.languageeng
dc.rights.accessopen access journal
dc.rights.ownerszerző
dc.subject.mabTermészettudományok
dc.subject.mabFizikai tudományok
dc.titleElectron irradiation induced amorphous SiO2 formation at metal oxide/Si interface at room temperature; electron beam writing on interfaces
dc.typefolyóiratcikk
dc.typeidegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Fájlok
Eredeti köteg (ORIGINAL bundle)
Megjelenítve 1 - 1 (Összesen 1)
Nincs kép
Név:
FILE_UP_0_SR_2018_EZ.pdf
Méret:
1.57 MB
Formátum:
Adobe Portable Document Format
Leírás:
Kiadói változat
Letöltés
Gyűjtemények
Publikációs Adatbázis