Electron irradiation induced amorphous SiO2 formation at metal oxide/Si interface at room temperature; electron beam writing on interfaces
Fájlok
Dátum
2018
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Forrás
Scientific Reports. -8 : 1 (2018), p. 1-7. -Sci. Rep. - 2045-2322