Electron irradiation induced amorphous SiO2 formation at metal oxide/Si interface at room temperature; electron beam writing on interfaces
Fájlok
Dátum
2018
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Természettudományok, Fizikai tudományok
Jogtulajdonos
szerző
Jelzet
Egyéb azonosító
Forrás
Scientific Reports. -8 : 1 (2018), p. 1-7. -Sci. Rep. - 2045-2322