Effect of nanoscopic defects on barrier performance of thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition on flexible polymers

Dátum
2021
Szerzők
Kovács, Réka Lilla
Gyöngyösi, Szilvia
Langer, Gábor Antal
Baradács, Eszter
Daróczi, Lajos
Barkóczy, Péter
Erdélyi, Zoltán
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Forrás
Thin Solid Films. -738 (2021), p. 1-13. -Thin Solid Films. - 0040-6090