Effect of nanoscopic defects on barrier performance of thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition on flexible polymers

Fájlok
kiadói változat(2.64 MB)
Dátum
2021
Szerzők
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Természettudományok, Fizikai tudományok
Jogtulajdonos
URL
https://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S0040609021004430
Jelzet
Egyéb azonosító
Forrás
Thin Solid Films. -738 (2021), p. 1-13. -(cikkazonosító)138960. -Thin Solid Films. - 0040-6090
Támogatás
GINOP-2.3.2-15-2016-00041
Egyéb TKP2020-NKA-04
Egyéb 2020-4.1.-TKP2020
Hivatkozás
http://hdl.handle.net/2437/323060
Gyűjtemények
Publikációs Adatbázis