Effect of nanoscopic defects on barrier performance of thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition on flexible polymers

dc.contributor.authorKovács, Réka Lilla
dc.contributor.authorGyöngyösi, Szilvia
dc.contributor.authorLanger, Gábor Antal
dc.contributor.authorBaradács, Eszter
dc.contributor.authorDaróczi, Lajos
dc.contributor.authorBarkóczy, Péter
dc.contributor.authorErdélyi, Zoltán
dc.date.accessioned2021-10-20T09:16:35Z
dc.date.available2021-10-20T09:16:35Z
dc.date.issued2021
dc.date.oa2021-11-16
dc.date.pasync2021-11-24T01:30:15Z
dc.date.updated2021-11-24T01:30:15Z
dc.description.correctorLB
dc.identifier.citationThin Solid Films. -738 (2021), p. 1-13. -Thin Solid Films. - 0040-6090
dc.identifier.doihttp://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138960
dc.identifier.issn0040-6090
dc.identifier.opachttp://webpac.lib.unideb.hu:8082/ebib/CorvinaWeb?action=cclfind&resultview=long&ccltext=idno+BIBFORM097476
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/323060
dc.identifier.urlhttps://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S0040609021004430
dc.languageeng
dc.rights.accessopen access article
dc.subject.mabTermészettudományok
dc.subject.mabFizikai tudományok
dc.tenderGINOP-2.3.2-15-2016-00041
dc.tenderEgyéb TKP2020-NKA-04
dc.tenderEgyéb 2020-4.1.-TKP2020
dc.titleEffect of nanoscopic defects on barrier performance of thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition on flexible polymers
dc.typeidegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Fájlok
Eredeti köteg (ORIGINAL bundle)
Megjelenítve 1 - 1 (Összesen 1)
N/A
Név:
FILE_UP_1_EZ_ThinSolidFilm_2021_738_138960.pdf
Méret:
2.64 MB
Formátum:
Adobe Portable Document Format
Leírás:
kiadói változat