Alacsony hőmérsékleten hőkezelt vékonyrétegek vizsgálata SNMS-sel
Betöltés ...
Dátum
Authors
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
DOI
Absztrakt
A dolgozatban vékonyrétegek, tehát néhány nm-től néhány száz nm-ig terjedő vastagságú rétegek elkészítéséhez és vizsgálatához szükséges eszközök és eljárások vannak részletezve. A megszerzett gyakorlati ismereteket felhasználva réz-nikkel és nikkel-réz multirétegek lettek készítve magnetronos porlasztóval, majd növekvő hőmérsékleteken hőkezelve kemencében. A hőkezelés után a minták SNMS-ben lettek megvizsgálva. A dolgozat ezeknek az adatoknak a feldolgozását és kiértékelését egyaránt tartalmazza.