Alacsony hőmérsékleten hőkezelt vékonyrétegek vizsgálata SNMS-sel

A tétel rövid nézete
dc.contributor.advisorKatona, Gábor
dc.contributor.authorBalogh, István
dc.contributor.departmentDE--Természettudományi és Technológiai Kar--Fizikai Intézethu_HU
dc.date.accessioned2016-05-05T12:34:36Z
dc.date.available2016-05-05T12:34:36Z
dc.date.created2016-05-04
dc.description.abstractA dolgozatban vékonyrétegek, tehát néhány nm-től néhány száz nm-ig terjedő vastagságú rétegek elkészítéséhez és vizsgálatához szükséges eszközök és eljárások vannak részletezve. A megszerzett gyakorlati ismereteket felhasználva réz-nikkel és nikkel-réz multirétegek lettek készítve magnetronos porlasztóval, majd növekvő hőmérsékleteken hőkezelve kemencében. A hőkezelés után a minták SNMS-ben lettek megvizsgálva. A dolgozat ezeknek az adatoknak a feldolgozását és kiértékelését egyaránt tartalmazza.hu_HU
dc.description.correctorgj
dc.description.courseFizika BSchu_HU
dc.description.degreeBSc/BAhu_HU
dc.format.extent33hu_HU
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2437/226508
dc.language.isohuhu_HU
dc.subjecthőkezeléshu_HU
dc.subjectdiffúzió
dc.subjectvékonyréteg
dc.subjectSNMS
dc.subject.dspaceDEENK Témalista::Fizikahu_HU
dc.titleAlacsony hőmérsékleten hőkezelt vékonyrétegek vizsgálata SNMS-selhu_HU
Fájlok
Gyűjtemények
Hallgatói dolgozatok (Természettudományi és Technológiai Kar)