Hőszabályozott kerámiacső-kemence alkalmazása félvezető minták hőkezeléséhez

Abstract

Szakdolgozatomban bemutattam a kerámicső-kemence felépítését, működési elvét, elkészítettem a kemence teljes műszaki dokumentációját (villamos tervek, használati utasítás). Sikerült a kerámiacső-kemencét üzembe helyeznem, beállítanom azt a különböző hőkezelési módokhoz, ezáltal lehetővé váltak a feltételek a félvezető minták hőkezeléséhez. Elvégeztem a félvezető GaAs minták szerkezeti (AFM) vizsgálatait. A várt eredményekhez képest a hőkezelt mintákon nem tapasztaltam nanoszál-növekedést, ami több oknak tulajdonítható, amelyeket a 3.3.fejezetben ismertettem. A PLC készülékek kiválasztásakor figyelembe vettem az adott rendszer adottságait. Az új szabályzó rendszert sikerült úgy megterveznem, hogy az a jövőben maradéktalanul megvalósítható legyen. Egy olyan egyszerű és könnyen használható készülékkel bővült a Debreceni Egyetem Természettudományi és Technológiai Kar Fizikai Intézet Nanoelektronikai és Nanotechnológiai Részlegének eszköztára, mellyel a jövőben fontos oktatási és kutatási célokra alkalmazható. Mindent figyelembe véve elmondhatom, hogy a kitűzött feladatokat maradéktalanul sikerült teljesítenem. A dolgozat megírása közben az eddig már megszerzett és még ismeretlen területeken sikerült új ismeretekkel bővítettem a tudásom és gyakorlatot szereznem.